Specifikáció
- Magnetron források
| Paraméterek |
MC-2 |
MC-3 |
MC-4 |
MC-6 |
MC-8 |
Maximális
teljesítmény [kW]:
DC
RF |
0,7
0,5 |
2
1,8 |
3
2,5 |
9
6 |
12
8 |
Névleges
teljesítmény [KW]:
DC
RF |
0,5
0,5 |
1,8
1,8 |
2,5
2,5 |
6
5 |
10
8 |
| Katód
feszültség [V] |
200
- 900
|
| Kisülési
áram tartomány [A] |
0,2 - 2 |
0,2 - 4 |
0,2 - 5 |
0,2 - 10 |
0,2 - 15 |
| Nyomás
tartomány [Pa] |
0,4 - 4 |
| Hűtővíz
felhasználás [l/min] |
2 |
4 |
6 |
12 |
15 |
| Beállíthatóság
[mm] |
50 |
| Target
méret [mm] |
50x4 |
75x4 |
91,6x6 |
152x10 |
200x12 |
| A
target felülete [cm2] |
o5 |
o45,6 |
o81 |
o182 |
o324 |
| Mechanikai
méretek [mm] |
80x81 |
115x135 |
180x135 |
218x114 |
267x114 |
MC
magnetron források
|
