MC magnetron források

Az MC típusú magnetron források fém vagy fémötvözet targetek vákuum vagy reaktív katódporlasztására használhatók. Mindegyik forrás használható nagyfrekvenciás (RF) porlasztásra is.

A Penning típusú porlasztási eljárás alkalmazása az ionok energiáját viszonylag alacsony szinten tartja, és biztosítja a gázkisülés lokalizálását. Így a forrásokat félvezető anyagok (pl. MOS struktúrák) fémezéséhez is lehet használni azok károsodása nélkül. A források hőkibocsátása nagyon alacsony, ezért hőre érzékeny anyagok fémezésére is jól használhatók.

Az MC magnetron források specifikációi