A penning típusú porlasztók

A penning típusú porlasztó berendezésekkel megvalósított felület-bevonási technológia az egyik leggyakrabban alkalmazott rétegfelviteli eljárás. Használata különösen előnyös ötvözetek felvitele, hőre érzékeny és félvezető anyagok fémezése esetén.

Legfontosabb alkalmazások:

• félvezetőgyártás

• optikai finommechanika

• elektronika

• vékonyréteg technológia alkalmazása különböző ipari termékeknél és rendszereknél

A DeMaS Kft. gazdag választékot kínál penning típusú porlasztó berendezésekből a 1-25 kW teljesítménytartományban, 5-324 cm2 target felületű forrássokkal.

• Folyamatvezérlő rendszer a többfázisú, teljesen automatikus rétegfelvitelhez max. 3db forrás soros működtetésével

• A rétegfelviteli folyamat vezérlésének kialakítása biztosítja a különféle vákuumrendszerekhez való illeszkedést

• Speciális adapterek a különböző típusú rendszerekbe való beépítéshez, és idegen részegységek, források használatához

A PT tápegységcsalád

Nagy megbízhatóságú DC tápegységcsalád, speciális kialakítással, ipari környezetben folyamatos üzemeltetésre alkalmas.

Alkalmazás:

• fém vagy fémötvözetek vákuum porlasztása

• fém vagy fémötvözetek reaktív porlasztása

Előnyös tulajdonságok:

1. A teljesítménynek megfelelő optimális súly és méret

2. Stabil teljesítményelektronika, a legszigorúbb követelményeket is kielégítő zajvédelem

3. Tirisztoros vezérlés

4. Állandó átütések melletti stabil működés

5. Gyors tirisztoros védelmi rendszer a nagyfeszültség lekapcsolására

6. Ellenőrzési célokra állapot és értékkijelzés

7. Előnyösen kialakított hozzávezetések a különböző alkalmazásokhoz

8. Igény szerinti mechanikai kialakítás

9. Bővítési lehetőség más elektronikai egységek beépítésére

A PT tápegységcsalád specifikációja